PET触摸屏ITO薄膜厚度的测量

使用MProbe Vis薄膜测厚仪测量触摸屏样品，PET上覆盖ITO薄膜层，PET下面有硬涂层聚合物(聚酰亚胺)，下面是测量结果：

以下是光谱数据分析：

图1. 五个测量点的反射光谱曲线

ITO材料的色散模型使用classical oscillator 近似模型，光学常数在数据分析时会有所修正。硬涂层聚酰亚胺的色散模型使用Cauchy近似模型，厚度和折射率同时被测量，其光学常数是基于PET和聚酰亚胺界面，两种材料的折射率相差很小，这会引起小振幅的干涉条纹。

测量分为两步：

 第一步，硬涂层被忽略，只分析ITO层，ITO薄膜的厚度和光学常数同时测量。

图2. 测量得到的反射光谱曲线与模型曲线进行拟合，测量得到的反射率光谱曲线呈现波纹状，这是硬涂层引起的。

第二步，硬涂层加到膜层结构上，硬涂层的厚度、光学常数和ITO层的厚度同时测量，至此，模型结构已经建立，所有测量用这个模型。

图3. 测量得到的反射光谱曲线与模型曲线相拟合，ITO层和硬涂层的厚度都被测量，模型曲线也呈现出波纹状，与图2相比，拟合度更好。

图4. 硬涂层的折射率测量。